Huttinger TIS10/100 NTM243P61_GOOD工业电源/射频电源
Huttinger NTM243P61_GOOD
Huttinger(霍廷格)电源是德国通快集团(TRUMPF)旗下工业电源品牌,专注高端制造、光子学领域,尤其在射频(RF)、中频(MF)及直流(DC)电源领域技术。其产品广泛应用于等离子体激发、激光激励、半导体镀膜等工艺。Huttinger NTM243P61_GOOD
一、主要产品系列与型号
射频电源(RF)
- 系列型号:
- TruPlasma RF 1001、3000、5000、6500、7018、7030等
- HR2001-AC、RF-650-SIN
- 应用场景:等离子体激发、真空镀膜、刻蚀工艺,需高稳定射频功率输出
中频电源(MF)
- 型号:TruPlasma MF 3000、3030 等
- 特点:适用于感应加热和中等频率工艺控制,抗干扰性强。
直流电源(DC)
- 系列型号:
- TruPlasma DC 3005、3080、3100、4008 等
- SCALO 20/30(大功率工业级)
- 功能:为靶材溅射、激光器提供稳定直流电,支持过载保护及远程控制。
双极脉冲电源
- 型号:TruPlasma Bipolar 4005、4020G2.1
- 用途:精密镀膜工艺,支持正负脉冲调制。

关键性能参数(以典型型号为例)
- 输入电压:100–240V AC(通用宽压)或 380–480V AC(工业级);
- 输出规格:
- 射频电源:13.56MHz 标准频率,功率 1–30kW ;
- 直流电源:24V/4000mA,效率 ≥85% ;
- 保护功能:过压/过流/短路三重保护,工作温度范围 -40℃ ~ +70℃
技术优势与应用价值
Huttinger电源的核心竞争力在于:
- 工艺稳定性:采用零电压开关(ZVS)和同步整流技术,减少能量损耗,延长使用寿命;
- 电网友好性:SPWM调制降低谐波干扰,符合工业环境EMC标准;
- 模块化设计:支持快速更换故障单元,减少产线停机时间。
适用场景:半导体制造(PVD镀膜)、光伏电池刻蚀、激光设备等工业领域

